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UniHotplate桌面型熱板是一種桌面型熱板，可烘烤8英寸或者6寸方片。溫度設(shè)定20℃~250℃。

UniCoater桌面型旋涂勻膠設(shè)備是一種桌面型旋涂勻膠設(shè)備?？尚?英寸或者6英寸方片。

GL MegaClean單片式兆聲波清洗設(shè)備基材尺寸大300mm直徑以下圓片清洗；單片掃描式毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗。

? GL Plasma等離子體清洗設(shè)備數(shù)適用于大300mm直徑以下晶圓或者330×400mm基材（軟工作模具基材）。

GL150 PreNIL & GL300 PreNIL，150mm&300mm 全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備，Cassette to cassette機(jī)械手自動(dòng)上下片，包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。

GL Spin+HP旋涂勻膠設(shè)備+熱板適用于大300mm直徑以下圓片或者9英寸方片旋涂勻膠與烘烤工藝。